Il nebulizzatore Micro Cirrus é stato specificatamente progettato per avere un aerosol con particelle piccolissime, con un diametro di massa medio (MMD) di 1.2 micron. A un flusso del gas erogato di 8 L/min, il 90% delle particelle avrà un diametro inferiore a 2 micron in grado di garantire un deposito alveolare.